[C.H.V]

So sánh giữa kính hiển vi quang học, TEM và SEM



Cấu trúc 3 kính hiển vi trên tương tự nhau, nhưng khác nhau:

- Kính hiển vi quang học: illumination source là nguồn ánh áng thấy được, condenser lens là các thấu kính hội tụ. Mẫu (specimen) được đặt trên đường đi của ánh sáng. Hình ảnh cuối cùng được nhìn thấy là hình ảnh xuyên qua của mẫu vật.

- Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM): illumination source là nguồn phát electron, thường ở nhiệt độ cao và điện thế cao để bắn ra electron, các condenser lens là các cuộn cảm từ trường, giúp định hướng đường đi của electron. Ở TEM, mẫu cũng được đặt trên đường đi của electron. Hình ảnh thu được cuối cùng hiện trên màng ảnh cảm quang, cũng là hình ảnh xuyên qua của mẫu vật.

- Kính hiển vi điện tử quét (SEM): TEM có nguồn phát electron tương tự SEM. Condenser lens cũng là các cuộn cảm giúp định hướng đường đi của electron. Nhưng mẫu được đặt ở cuối đường đi của electron, Khi electron ở năng lượng cao va chạm với mẫu vật sẽ phát sinh ra nhiều loại electron, trong số đó có “Secondary Electrons”, và đầu thu tín hiệu sẽ thu loại electron này và hình thành hình ảnh. Đây là điểm khác biệt chính của SEM so với kính hiển vi quang học và TEM.