[C.H.V]

Thế mạnh của SEM so với kính hiển vi quang học (OM, optical microscope)

Độ phóng đại (magnification):
OM từ 4 – 1400 (lần),
SEM từ 10 - 500K (lần).

Depth of Field (DOF): đây là khoảng cách giữa điểm gần nhất và xa nhất của vật mà kính hiển vi có thể nhìn thấy rõ.
DOF của OM: 0.5 mm,
SEM: là 30 mm.

Resolution: là kích thước nhỏ nhất có thể nhìn thấy rõ,
resolution của OM: 0.2 um
resolution của SEM: 1.5 nm.


Hình minh họa của depth of field.
Thế mạnh lớn của SEM là độ phóng đại lớn hơn rất nhiều so với kính hiển vi quang học, có thể thấy được những hình ảnh mà kính hiển vi không thấy được, do giới hạn ánh sáng của kính hiển vi quang học. SEM cho hình ảnh có cấu trúc 3D, có độ sâu khác nhau nhờ vào DOF lớn. SEM cho biết được thành phần nguyên tốc và thông tin tinh thể của mẫu. Chính vì vậy SEM là một công cụ rất mạnh trong các phòng thí nghiệm và trong công nghiệp.