Các phương pháp làm tăng mật độ mầm diamond (Nd) trên bề mặt đế: scratch, seeding, tạo hiệu thế (biasing), phủ các film hay layer lên bề mặt đế, cấy ion, chiếu bức xạ laser, carbur hóa bề mặt...
Các thông số tối ưu cho quá trình tổng hợp CVD: nhiệt độ đế, hoạt hóa pha khí, áp suất pha khí, tốc độ dòng khí, thành phần khí và add thêm O2.
